尾气处理炉_东莞帕萨电子装备有限公司

尾气处理与管路工程

尾气处理炉

详细介绍

一、设备用途
本尾气处理装置主要用于扩散炉与RIE（反应等离子体刻蚀）、PECVD等设备的工艺废气的处理，达到直接排放大气达到环保与安全排放的目的。
尾气处理原理：燃烧+水喷淋
燃烧：采用电加热方式，有毒气体等与氧气燃烧反应生成无毒的物质及易溶于水的物质，排放物为无毒无害的气体；
湿法：多级水喷淋，使易溶于水或与水反应生成沉积的物质，已达到有毒腐蚀易燃易爆的气体完整回收。

二、主要技术参数
1、主机外形尺寸（参考）：740mmW×790mmD×1800mmH；
2、供电：三相四线/380VAC/50HZ/10KW
3、处理能力：≤100SLM
4、设备的排风口：￠100mm，1000LPM
5 、进气管道：2 进口 KF50,可连接 2 台设备的尾气处理，排
气管道为 KF80（可应用户的规格调整）
6、气路管件：1/4”及 3/8”不锈钢管道为耐腐蚀级（CARDINAL/SANDVIK）、燃烧室采用耐高温310不锈钢，及喷淋室为耐腐蚀的PVDF材料，
阀门采用耐腐蚀PVC材料、塑料管道采用优质 PVDF 材料，泵采用耐腐蚀水循环泵、连接口采用标准的 KF 连接及 VCR、卡套等接口及自动轨道焊接。
7、控制方式：PLC+触摸屏（带有自动与手动功能）

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