太阳能离子注入机

太阳能离子注入机功能
太阳能离子注入机用于太阳能电池片的掺杂工艺，离子注入后形成电池片发电核心-PN结。将离子注入引入太阳能工艺中，可有效提高电池片的均匀性，从而提高转换效率至少1%。

太阳能离子注入机主要经济技术指标对比

 

太阳能电池片离子注入机的特点
离子注入与传统热扩散相比较，具有如下特点：
◆注入硅片的离子剂量可以精确控制。使用离子注入机掺杂，剂量可以精确到离子的个数，这样可以形成高品质的PN结，这是传统热扩散完全没能力做到的；
◆注入硅片的深度可以精确控制。离子注入机可以自由调节束能的大小，这可以调节离子的动能从而达到调节注入的深度。传统热扩散主要靠温度和时间来控制注入离子的深度，属于模糊控制；
◆高的光电转化率。离子注入机可以与传统热扩散相比可以提升电池1.5%-3%的光电转化率；
◆高均匀性：离子注入机由于可以控制束流的均匀性，对于硅片方块电阻的均匀性能够精确控制，使方阻均匀性更好。



主要优势：
◆大束流：最大可以做到120mA（P+）以上。
◆B+和P+注入：相对市场上其他家的太阳能离子注入机目前只能注入P+离子，太阳能离子注入机也可以注入大束流的B+离子，满足不同客户的不同需求。
◆束流利用率：研发的太阳能离子注入机束流利用率可以达到95%。
◆束流均匀性：研发的太阳能离子注入机束流均匀度可以达到98%以上。
◆高产能：目前在市场上投入使用的太阳能离子注入机离子注入机的产能为1000片/小时左右（以Varian公司的Solion为例），这会对光伏电池生产线的产能造成很大的限制，直接影响电池片厂家的利润。研发的太阳能离子注入机设计产能将达到3000片/小时。
◆制程成本低廉：使用太阳能离子注入机，可以使离子注入机的综合制程成本控制在约RMB 0.3元/片。