真空碳化台_东莞帕萨电子装备有限公司

科研非标定制设备

真空碳化台

详细介绍

一、设备用途
真空碳化台运用于磁控管阴极灯丝碳化工艺，是磁控管生产的关键设备，本设备为单腔室反应碳化炉，在真空洁净条件下，
对磁控管阴极通电，通入活性气氛C6H6(苯），利用阴极灯丝的发热，使得苯与灯丝发生碳化反应，达到灯丝碳化的目的。

二、主要技术参数
1、产能：一次性碳化50个阴极的灯丝（也可定制）；
2、生产节拍：小于10Min每炉；
3、工艺腔体尺寸与结构：Φ500mm *400mm （支持定制）
4、极限真空：优于6.67*10^-4Pa
5、系统真空检漏漏率：≤6.67x10^-⁸ Pa.l/S；
6、灯丝碳化率：10%-35%

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