高真空排气台_东莞帕萨电子装备有限公司

科研非标定制设备

高真空排气台

详细介绍

一、设备用途
高真空排气台运用于磁控管管芯排气工艺，是磁控管生产的关键设备，磁控管管芯抽真空至高真空（5.0*0^-4Pa）通电，
灯丝发热后使得吸附在管芯内的气体进一步释放，将磁控管管芯抽至高真空（优于5.0*0^-5Pa），达到管芯排气目的。

二、主要技术参数
1、产能：一次性对50个管芯进行排气（也可定制）；
2、生产节拍：约60min每炉；
3、极限真空：优于6.67*10^-6Pa
4、系统真空检漏漏率：≤6.67x10^-¹⁰ Pa.l/S；
5、灯丝电源：输出直流电流0~20A可调，最大功率5.5KW，每台电源对10只管芯供电；
6、阳极电源：输出直流电压0~300V可调，最大功率2.5KW，每台电源对10只管芯供电；
7、配置进口品牌（爱发科）低温泵，抽速：2400L/S

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