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科研非标定制设备

低能离子注入机

低能离子注入机

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详细介绍

一、概述
该低能离子注入机可以通过离子源产生超低能量的离子束，在经过二极磁铁偏转之后，过滤掉不同荷质比的离子，
只留下所需的离子种类和能量的离子束可以穿过。束流在靶室位置的束流强度符合石墨烯等二维材料的注入特性。

二、设备主要技术参数
辐照区域 5*5cm
能量范围 100eV-2keV
 
束流强度 均匀区域平均束流强度为几十nA
离子能量选择 电磁铁控制偏转，
离子种类 Ar+，He+,N+，H+，O+  （P+可选）
极限真空度 <1E-4Pa
工艺真空范围 5E-4Pa~5E-3Pa
真空漏率 ≤6.6×10-7 Pa.l/S
工作电源 380v±5% 50HZ


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