扩散炉_东莞帕萨电子装备有限公司

半导体系列

扩散炉

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闭管软着陆扩散系统Closed Tube & Soft Landing Diffusion Furnace
产品介绍 Product Introduction
◆闭管磷扩散、硼扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，工艺废气集中收集从尾部定向排出；工艺气体可采用喷淋方式引入到石英管内。
闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受控。
◆自动控制温度过程及工艺过程，全部采用进口优质产品。
◆送取片方式：精心设计制造的软着陆装置，全数字化控制，性能更加稳定可靠，其特点平稳可靠、无爬行、SiC浆实现免清洗、
定位准确、承重量大、使用寿命长。

主要技术指标

工作温度	600-1100℃
恒温区长度：	1400mm
温区精度（静态闭管测试）	800℃＜工作温度＜1100℃：±0.5℃ 600℃≤工作温度≤800℃：±1℃
单点温度稳定性（静态闭管测试）	800℃＜工作温度＜1100℃：±0.5℃/24h 600℃≤工作温度≤800℃：±1℃/24h
温度斜变能力	最大可控升温速度：（600-1100℃）15℃/min；最大可控降温速度：（1100~600℃）8℃/min
气体流量设定精度	±1%FS
气路系统气密性	1×10^-7Pa.m³/S
自动送料装置行程	~2000mm，速度：5~1000mm/min，SiC浆承重：20kg
装片数量	540片/管（槽间距：4.76mm） 1050片/管（槽间距：2.38mm）
净化台洁净度	100级（10000级厂房）
三相五线制度	380V±10%，50Hz±10%Hz
冷却水	2~4Kgf/cm²，-8L/min
1管、2管、3管、4管、5管分别可选；自动装载机械手可选，设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。

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