快速退火炉_东莞帕萨电子装备有限公司

半导体系列

快速退火炉

详细介绍

1、温度范围：150-1200℃；
2、升温速率：60-180℃；
3、降温速率：最快可达70℃
4、样品架尺寸：小于等于6英寸（支持非标定制）；
5、温度均匀性：900~1200℃±0.5℃
6、温度稳定性：±2℃；
7、光源：卤钨灯
8、冷却水：冷却循环水，1-3kg/平方厘米，流量6-8L/min；
9、保护气氛：氮气、氩气
10、极限真空：1Pa

半导体系列

快速退火炉

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