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感应耦合等离子体刻蚀设备(ICP)
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半导体系列
详细介绍
感应耦合等离子体刻蚀机
产品性能及特点
◆设备稳定可靠、工艺性能卓越,主要用于半导体制造工艺中的介质刻蚀、硅刻蚀以及金属刻蚀工艺,也能用于太阳能电池片RIE工艺。
◆可用于2-8寸工艺尺寸。
◆设备采用半导体刻蚀机的成熟技术,实现了对腔室内等离体密度的均匀控制,满足多种材料刻蚀工艺的要求。
◆设备采用模块化设计,整机包括工艺模块(PM: Process Module)和传输模块(TM: Transfer Module)。基片在工艺模块内进行刻
蚀,工艺时,在基片上方产生等离子体,对基片进行刻蚀。传输模块装有全自动机械手取放片,或者安全性高互锁机构,实现基片在
传输模块和工艺模块之间的传输,其传输方式可以根据客户要求选配。
◆具备全自动的软件操作系统/半自动操作,可以根据客户选配
◆主要应用范围:半导体芯片,TFT器件,膜层集成图像化,太阳能电池,银纳米,石墨烯等新材料制备等
主要技术参数
真空室工位
单腔、多腔(MAX:7)
反应室极限真空度
≤1x10
-4
Pa
工艺压强范围
2~133 Pa
样片尺寸
2~8英寸
刻蚀速率:
100~3000nm/min
刻蚀均匀性
±3%~±5%
RF电源
13.56MHZ /2MHZ/4MHZ 可选
样片热/冷却方式
Chiller , 可选He冷背吹
操作方式
全自动方式、半自动方式
产品展示
半导体系列
太阳能系列
科研非标定制设备
工业热处理设备
尾气处理与管路工程
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